加速度计和陀螺仪感测器：原理、检测与应用机电系统(MEMS)将机械和电子元件整合在微米级小型结构中。运用半导体与微製程技术，透过微机械加工将所有电子元件、感测器和机械元件整合至一片硅基板。MEMS系统的主要元件是机械单元、感测机制以及特定应用积体电路(ASIC)或微控制器。本文简要介绍MEMS加速度计感测器和陀螺仪，并探讨其工作塬理、感测机制以及目前市场上多样化的应用，以及对我们日常生活深远的影响。
举报文档
免费
大小：0.19 MB
