机电系统(MEMS)将机械和电子元件整合在微米级小型结构中。运用半导体与微製程技术,透过微机械加工将所有电子元件、感测器和机械元件整合至一片硅基板。MEMS系统的主要元件是机械单元、感测机制以及特定应用积体电路(ASIC)或微控制器。本文简要介绍MEMS加速度计感测器和陀螺仪,并探讨其工作塬理、感测机制以及目前市场上多样化的应用,以及对我们日常生活深远的影响。
0 | 上传人:HB1973 2014-08-30 10:58:00 | 热度: 格式:doc 3989篇相似文档
未设置昵称 2023-04-13 17:58:57安全生产隐患排查治理信息化系统软件
PDPI 2022-09-15 15:19:37培养“新工科”人才,安徽工程大学与天马微电子签订战略合作协议
奇偶派 2021-11-24 13:41:19小米财报
a14594260 2021-09-15 19:16:20隐患排查和煤矿化工安全生产预警系统软件解决方案
技术宅 2021-09-10 11:19:06有金属衬底的钢网如何高效设计