使用德国GBS非接触三维表面形貌测量技术。 标准型白光干涉仪用于光滑与粗糙表面的三维形貌测量和表征,垂直方向的测量精度可达纳米级别。
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已有0人评价 浏览:96次 下载:12次 贡献者: guruntech5 标签:白光干涉,轮廓,纳米 分类: 电子工程