根据单晶硅各向异性腐蚀的特点,以晶格内部原子键密度为主要因素,温度、腐蚀液浓度等环境因素为校正因子,建立了一个新颖的硅各向异性腐蚀的计算机模拟模型。
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已有0人评价 浏览:179次 下载:17次 贡献者: wenku 标签: 分类: 太阳能光伏
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