对三氯氢硅进行分馏,以达到超纯状态。对超纯三氯氢硅用H2通过化学气相沉积(CVD)方法还原成多晶硅。
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已有0人评价 浏览:179次 下载:31次 贡献者: ZWY007 标签:太阳能发电 分类: 太阳能光伏
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