极紫外光刻(EUVL)技术已经酝酿了超过四分之一个世纪,去年第一台EUVL生产工具已经交付客户,芯片制造商和供应商正在试生产线上日趋完善这项技术以备日后的大规模批量生产(HVM)。
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已有0人评价 浏览:117次 下载:12次 贡献者: Elena_D 标签:极紫外光刻技术 自由电子激光器 激光器 分类: 激光
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