激光脉冲沉积(PLD)就是将激光瞬间聚焦于靶材上一块较小面积上,利用激光的高能量密度将激光照射处的靶材蒸发甚至电离,使其原子脱离靶材向基板运动,在温度较低的基板上沉积,从而达到成膜目的的一种手段。
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已有0人评价 浏览:168次 下载:23次 贡献者: yeqidong 标签:技术 分类: 激光
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