借助RF2PECVD 辅助RTP 技术,采用高沉积气压的技术路线制备了优质的微晶硅薄膜,并利用拉曼光谱、反射谱和透射谱分别研究了微晶硅的晶化率和光学性质. 实验中发现微晶硅的吸收边出现了相对红移,此相对红移可归结于薄膜晶化率的提高和带尾态密度的降低.
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已有0人评价 浏览:148次 下载:18次 贡献者: yuqian 标签:晶硅薄膜 分类: 太阳能光伏
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