利用金属有机化合物气相外延沉积技术在2inch（5．08cm）Si（111）图形衬底上生长了GaN外延薄膜，在Al组分渐变AlGaN缓冲层与GaN成核层之间引入了AlN插入层，研究了AlN插入层对GaN薄膜生长的影响。结果表明，随着AlN插入层厚度的增加，GaN外延膜（002）面与（102）面X射线衍射摇摆曲线半峰全宽明显变小，晶体质量变好，同时外延膜在放置过程中所产生的裂纹密度逐渐减小直至不产生
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