低应力PECVD氮化硅薄膜工艺探讨
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为了适应土木工程、能源建设和传输光纤等对应力、压力和温度等参量的监测要求,光纤传感系统因为能够克服很多电学传感器的局限性而获得了快速发展。至今,FBG 传感器已经广泛应用于土木工程领域,其在结构健康监测领域用光学传感器中占据着75% 的份额。
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等离子增强化学气相淀积(P lasma2enhanced Chem ical V aper Depo sit ion, PECVD )SiN x 薄膜在微电子和微机械领域的应用越来越重要。 它的一个重要的物理参数—— 机械应力, 也逐渐被人们所重视。 本文研究了应力跟一些基本的淀积条件如温度、压力、气体流量等之间的关系.
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采用弹性力学理论和复变函数法导出了熊猫型保偏光纤应力双折射的近似解析表达式。利用有限元法数值分析了熊猫型保偏光纤的双折射特性,结果表明,与采用纤芯中心应力相比,采用芯区平均应力表示光纤的双折射较为精确,且结果与解析法导出的芯区中心应力双折射计算结果相比误差小于0.18%。在此基础上进一步分析了应力区失配对熊猫型保偏光纤的双折射所产生的影响,并通过实验测试证明了分析结果的正确性。
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光电探测器吸收激光后的温升以及因温升造成的各种现象,致使探测器遭受到不同程度的损伤。利用热弹性理论对CO。激光器辐照K9玻璃材料进行研究,建立激光辐照材料温升及热应力分布二维平面模型,通过解析计算得到由激光辐照半导体材料引起的温度场和应力场的瞬态分布。
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在实际光传输中, 由于光纤所受到的外界应力是随环境和温度的变化而不断变化的,因此,普通光纤中的光的偏振模态是不稳定的。但如果在光纤内部引入高双折射效应来对抗外在的应力变化的干扰,就能维持光纤中传输光的偏振模态。保偏光纤正是基于这样的原理来保持偏振光稳定的传输状态。随着RAMAN器件的广泛应用以及偏振复用概念的提出,保偏器件正面临着巨大的市场潜力。保偏(PM )器件有很多,比如最常见的是
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本标准规定了地面用太阳电池组件、板及方阵的伏安特性、绝缘电阻、绝缘强度、工作温度、总反射率和热机械应力等参数的测量方法。
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