等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是制备非晶硅太阳能电池aoSi:H薄膜材料应用最广泛的技术。非晶硅材料在可见光内有较高的吸收系数,原材料来源广泛,可实现低成本的大面积薄膜沉积,使之具有有广阔的应用前景。
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已有0人评价 浏览:1578次 下载:26次 贡献者: ZWY007 标签:非晶硅薄膜 太阳能电池 PECVD 分类: 太阳能光伏
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