PECVD法制备硅太阳电池SiN薄膜工艺研究进展

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薄膜太阳能电池-PECVD

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太阳能电池片PECVD

解析了太阳能电池片PECVD技术的原理及发展

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薄膜太阳能电池PECVD

洗的是膜表面上的污垢和灰尘及一种高分子材料

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非晶硅薄膜太阳能电池-PECVD

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非晶硅薄膜太阳能电池-PECVD

工艺：这一步主要是划刻非晶硅a-Si，使用的532纳米波长的绿激光器

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在柔性衬底上制备的非晶硅薄膜力学性能研究

以聚酰亚胺膜作为柔性衬底材料 , 用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 技术制备氢化非晶硅薄膜 . 喇曼(Raman) 光谱分析表明适当温度下的退火工艺使氢化非晶硅薄膜具有均匀的微硅晶体结构和良好的表面质量 . 在扫描电子显微镜下进行的力学性能实验研究表明 , 由于非晶硅薄膜和聚酰亚胺膜之间较强的相互作用 , 使非晶硅薄膜具有优异的柔韧力学性能。

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非晶硅薄膜太阳能电池材料PECVD关键技术研究

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非晶硅薄膜太阳能电池材料PECVD关键技术研究

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是制备非晶硅太阳能电池aoSi：H薄膜材料应用最广泛的技术。非晶硅材料在可见光内有较高的吸收系数，原材料来源广泛，可实现低成本的大面积薄膜沉积，使之具有有广阔的应用前景。

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太阳能电池PECVD故障解除

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非晶硅薄膜PECVD 法制备与光学性质表征

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非晶硅薄膜太阳能电池-PECVD

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平板式pecvd专用镀膜挂件

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Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置

本实用新型涉及一种Si基薄膜电池中PECVD成膜镂空的检测装置。

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调整pecvd气流出口位置以改善大面积下膜层均匀度

本发明目的在调整PECVD气流出口位置以改善大面积下膜层均匀度。

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