对PECVD生长氮化硅介质膜的工艺条件进行了实验研究,获得了生长氮化硅介质膜的最佳工艺条件,制作出了高质量的氮化硅质膜.
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已有0人评价 浏览:212次 下载:23次 贡献者: wenku 标签: 分类: 太阳能光伏
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