外延也称为外延生长,是制备高纯微电子复合材料的一工艺过程,就是在单晶(或化合物)衬底材料上淀积一层薄的单晶(或化合物)层。
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已有0人评价 浏览:157次 下载:11次 贡献者: lihoucheng 标签:LED LED芯片 MOCVD 衬底 分类: 半导体照明
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