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采用VHF-PECVD方法高速制备微晶硅材料及其太阳电池的研究

高速沉积微晶硅薄膜，实现微晶硅电池的产业化已经成为国际光伏领域研究热点。本论文采用VHF—PECVD技术，以高速制备器件质量级微晶硅材料为目标，系统研究了激发频率和总气体流量对微晶硅薄膜的电学性质及其结构特性的影响；同时也关注了有源层的厚度和气体总流量对微晶硅电池的影响。

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贡献者： yuqian
标签：微晶硅材料太阳能电池
分类：太阳能光伏

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