对cigs工艺进行直列式过程控制的方法和装置描述了一种直列式生产装置和方法，所述装置和方法用于控制通过共蒸沉积工艺制造的铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池的成分。沉积条件使得沉积的含有过量铜的总成分转变为最终的CIGS膜的缺乏铜的总成分。具有钼层的基底(21)以恒定速度移动通过CIGS加工室(7)。使用传感器检测基底上的从富含铜的成分至缺乏铜的成分的转变，该传感器检测与所述转变相关的物理参数(如发射率)。
举报文档
免费
大小：1.02 MB
