聚焦离子束显微镜FIB应用范围: 1.定点切割 2.穿透式电子显微镜试片 3.IC线路修补和布局验证 4.制程上异常观察分析 5.晶相特性观察分析 6.故障位置定位用被动电压反差分析
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已有0人评价 浏览:35474次 下载:16次 贡献者: 探针台 标签:FIB( )聚焦离子束( )失效分析 分类: