我们知道IC生产工艺要求的是洁净车间或超净车间。但国内很少有厂家能做到无尘室里一粒particle都没有,现在要求灰尘颗粒粒径由原来的0.3μm降低到现在的0.1μm,但如果吸附的灰尘粒子的粒径大于线条宽度时,很容易使产品报废。
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已有0人评价 浏览:246次 下载:14次 贡献者: xiao_er 标签:集成电路 静电 分类: 电子工程
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