完全表征半导体设备、材料或工艺,需要具有三种类型的测量能力:精准直流I-V测量、交流阻抗测量(通常由C-V表测)、 超快或瞬态I-V测量。不久之前,实验室仍需要三个独立的测试系统来获得所有三种类型的测量。
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已有0人评价 浏览:132次 下载:9次 贡献者: liujing 标签:半导体设备 分类: 电子工程
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