光刻加工与光刻技术
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光刻技术的发展
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本文介绍光刻技术的现状和发展
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极紫外光刻(EUVL)技术已经酝酿了超过四分之一个世纪,去年第一台EUVL生产工具已经交付客户,芯片制造商和供应商正在试生产线上日趋完善这项技术以备日后的大规模批量生产(HVM)。
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