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一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现

随着光通信技术的迅速发展,MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点,将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种,常见的静电驱动方式有:梳状电极、SDA(scratch drive actuator)、悬臂驱动和扭臂驱动等。

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