近年来，MEMS惯性器件取得了飞速发展，基于MEMS惯性器件的惯导系统也逐渐成熟，应用范围越来越广，特别是在航天和军事上具有巨大的发展潜力。本文阐述了MEMS惯性器件特点、发展过程及在航天和军事领域的应用现状，最后对MEMS惯性器件的未来发展趋势作了展望。
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MEMS惯性器件发展与应用研究
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