干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。
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新型XL-80激光干涉仪系统在便携性、系统精度及动态测量性能方面获得显著提高。其使用更快捷、方便,且保留了纯粹干涉测量系统的优点,该系统结合了成熟的技术及丰富的经验,使得Renishaw激光系统成为全球用户的首选系统。
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双频激光干涉仪采用的是外差式工作原理。包括激光头,光学镜组件,数据处理器和PC。
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