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使用钛扩散的方法在z切铌酸锂(LiNb0，)基片上制备平面光波导，并进行富锂气相输运平衡(VTE)处理，获得平面光波导。利用外加电场法对其周期极化，制备出近化学计量比钛扩散周期极化铌酸锂(Ti：PPLN)平面光波导。对近化学计量比Ti：PPLN平面光波导的制备方法及工艺进行深入研究，为制备近化学计量比Ti：PPLN条波导奠定基础。
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研制了Y分支平面波导型光分路器，采用半导体工艺制备了1×8平面光波导芯片，经过耦合对准和黏接完成了芯片的封装。对研制的平面波导型光分路器在1 270～1 570 nm波长范围内的插入损耗进行了测量，在该波长范围内插入损耗曲线较平坦。这表明平面波导型光分路器的插入损耗在所测试波段对波长不敏感，而熔融拉锥型光分路器的插入损耗曲线表现出明显的窗12限制。同时对l 310、1 550
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分析了平面光波导器件的关键技术及其应用情况．介绍了平面光波导器件的几种不同种类，包括硅基体沉积二氧化硅光波导，铌酸锂镀金属膜光波导，聚合物(Polymer)光波导等组成．利用平面光波导技术，可制造出波分复用器、解复用器、光开关、耦合器、阵列波导光栅等各种不同的集成光学器件．
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